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媒体报道 | 破局晶圆制造厂AMHS瓶颈：弥费科技全新OHT系统实现效能和稳定性跃迁
以下文章来源于电子发烧友网 ，作者吴子鹏在半导体制造领域，AMHS（自动物料搬运系统）堪称保障生产效率、良率和工厂稳定性的核心基础设施。半导体制造工序繁杂，涵盖光刻、蚀刻、沉积等数百道工序，晶圆在生产...
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2025-04-28
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